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          射频扫胶机PT-20-HF

          PT-20-HF是一款中型等离子去胶机,配置丰富且真空腔体里面可分层,适合8寸晶圆及以下大多数生产场景设备优点? 任何材质、形状、尺寸都可以处理? 高效均匀的处理效果? 自主研发的操作系统,简洁智能? 处理气体多为氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气体? 较低的处理温度,不存在热损伤和热氧化问题? 使用成本低、耗损小? 安装与维护简便快捷
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          产品详情
          参数

          功能介绍:表面清洗和活化

            等离子体其中包括原子、分子、离子、电子、活性基团、激发态原子、活化的分子及自由基,这些粒子的能量和活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,从而有些化学键被打开后结合上氧原子等高活性的物质,使得材料表面亲水性得到极大提高,同时对材料表面的油污等有机大分子新的化学反应,生成气态小分子,例如二氧化碳,水气等气态物质被真空泵抽走,从而达到对材料表面分子级别的清洗。

            在粘接/bonding/印刷/喷漆/镀膜/封装等工序时让产品可靠性更高,良品率更好。

           

          设备基本参数(联系我们了解更多详细资料)


          型号

          PT-20-HF

          整机尺寸(mm)

          785(W)×800(D)×1800(H)

          重量(Kg)

          180

          真空腔体

          W260mm;D300mm;H260mm

          托盘

          W210mm;D255mm

           

          射频电源

          输出频率

          13.56MHz

          ***大功率

          300W / 500W / 1KW

          负载阻抗

          50Ω

          真空测量

          量程

          1×10-2~1×105

          工艺气路

          2路工艺气体管道

          MFC质量流量计

          控制系统

          西门子PLC+MCGS触摸屏

          软件功能

          手动模式和自动模式

          真空泵

          可选油泵或干泵

          外部电源

          220V 或 380V;50/60Hz

          其他说明

          设备配置可根据要求定制

          应用场景

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          联系方式

          电话:4006-888-927

          手机:15011229190  18500694965

          传真:010-89717262

          邮箱:sales@www.antimonopolylaw.org

          地址:北京市昌平区科技园区创新路11号创业大厦610

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